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      測量5反射型2D激光移位計

      使用2D激光移位計同時測量基礎面和工件,并根據(jù)獲取的形狀測量高度差,以此求出厚度。

      要點

      如果工件與基礎面之間產(chǎn)生間隙,則會產(chǎn)生誤差。

      • 使用如平板一般面精度較高的基礎面。
      • 利用真空吸附或磁力吸附。

      等,提高緊密性至關(guān)重要。

      LJ-X系列
      • 2D三角測量方式
      • 通過激光線束實現(xiàn)多點測量
      • 超高速 64000次拍攝/ 秒
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      LJ-X系列
      LT系列
      • 共焦方式
      • 光點直徑φ2 μm
      • 薄膜測量能力較高
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      LT系列

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