微型傳感頭型分光干涉式 激光位移計
SI-F 系列
產(chǎn)品應(yīng)用 微型傳感頭型分光干涉式 激光位移計 SI-F 系列
SI-F 系列微型傳感頭型分光干涉式激光位移計應(yīng)用
在自動化應(yīng)用和傳感應(yīng)用中出色的表現(xiàn)。
測量晶片厚度
微型傳感頭可用于測量硅晶片等精密物體的厚度和翹曲度。
- [優(yōu)點] 超高分辨率
0.25 μm 的分辨率 - 多功能控制器
算術(shù)運算電路將測量數(shù)據(jù)即時轉(zhuǎn)換為厚度 - 不發(fā)熱
傳感頭中沒有電子部件,不會產(chǎn)生熱量
測量復(fù)印機中的輥的動作
微型傳感頭可用于測量復(fù)印機等精密機械中的各個部件的動作。
- [優(yōu)點] ?2 mm 微型傳感頭
無需預(yù)留安裝位置 - 最高可承受 85°C
即使緊靠發(fā)熱的機身也能進行測量 - 5 kHz 高速采樣
即使是高速工件也可安全地測量
定位高精度載物臺
微型傳感頭可用于檢測載物臺停止的位置,因此可將實際值與參考值的差值反饋給相關(guān)設(shè)備。
- [優(yōu)點] 10 mm 以上的設(shè)定距離
無碰撞危險 - 最多 6 軸同時測量
實現(xiàn)無時間誤差的多軸控制 - ?8 mm 小型傳感頭
無需預(yù)留安裝位置
高精度測量輥的偏轉(zhuǎn)
微型傳感頭可用于測量各種要求精確測量的輥(例如膠輥)的偏轉(zhuǎn)。
- [優(yōu)點] 對工件無傷害
非接觸測量方式避免損傷工件 - 直接表示偏轉(zhuǎn)度
控制器即時算出并顯示偏轉(zhuǎn)度 - 5 kHz 高速采樣
可緊跟高速旋轉(zhuǎn)的工件
測量曝光掩模的間隙
微型傳感頭可用于測量曝光掩模和玻璃基板的間隙。
- [優(yōu)點] 80 mm 的設(shè)定距離
即使掩模較厚亦可安裝微型傳感頭 - ?12 mm 小型傳感頭
無需預(yù)留安裝位置 - 不發(fā)熱
傳感頭中沒有電子部件,不會產(chǎn)生熱量
測量玻璃盤的厚度
微型傳感頭可用于測量玻璃盤等光學(xué)透明物體的厚度。
- [優(yōu)點] 超高分辨率
0.25 μm 的分辨率 - 5 kHz 高速采樣
可測量高速旋轉(zhuǎn)的工件的厚度 - 最多 6 軸同時測量
實現(xiàn)無時間誤差的多軸控制